变径与槽盖

槽盖
背景技术：
在硅片清洗行业中，一般是通过强酸或强碱作为清洗液，在清洗过程中，不可避免的会产生一些有毒有害的气体，为了防止这些气体的外溢，清洗槽一般设有槽盖，但现有技术中的槽盖，在开启和关闭过程中会占用较大的空间，造成空间的浪费。